MEMS Applications 微機電工程
MEMS Applications 微機電工程微機電系統( MEMS )的開發透過半導體製程的技術已更趨成熟穩定,在次微米元件中可包含機械、流體、光學及電控設計。因為利用積體電路的製程緣故,故可以大量生產高精度、低成本的零組件,其間並可將複雜的電路整合其中。
1. Dielectrophoresis (電導)
電導型細胞定位器 流、電、溫度場分佈圖
雙層導電層模型 以玻璃為檔板與富含電荷之電解液接觸
微幫浦
3. Optical Switching (光學開關)
目的:開發一種可因應高速網路需求的訊號開關 可控制極快速的開閉動作,傳統上是以電子元件控制 ,目前光纖傳遞的方式以達電子元件的瓶頸 ( 非電子式的開關)
泡沫動態分析要項 氣泡穩定且確實的阻斷光訊號傳遞 試作品的缺陷 35 kHz 下訊號阻斷效果不佳 氣泡邊界垂直度差易造成訊號的損失 尺寸太小有實際量測上的困難 必須選用高階的 CFD 軟體模擬
FLOW-3D 模擬要項 氣泡以 35KHz 的頻率振盪 壁面上的壓縮波效應 模擬不易直接觀察的薄型壓縮層 以模擬發覺實驗無法觀測出的問題 解決方案:壁面加熱,減少液體的附著